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多弧靶材

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钛铝合金靶材

发布日期:2020-03-11 作者:admin 点击:

平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材。平面靶材通过螺纹等方式与溅射设备相连接,在真空条件下溅射成膜层附着于基片上,再通过各种手段(刻蚀)对薄膜加工,以满足不同需要。


产品名称:钛铝靶材

常规比例:

原子比(at%):20/80 30/70 33/67 40/60 50/50 60/40 75/25

常规尺寸(mm)

¢100*40/100*32、¢98*45/¢98*40、¢95*45、¢63*40/63*32、

生产工艺:热等静压HIP

靶材纯度>99.7%(2N7)

相对密度>99%

注:其他比例及尺寸根据客户要求定制


真空镀膜靶材利用率:

靶材形状

靶材利用率

平面靶材

33%-40%

旋转靶材 

70%-80%

多弧靶材

65%-75%

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