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旋转靶材

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钛旋转靶材

发布日期:2020-03-11 作者:admin 点击:

旋转靶材是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的,里面装有静止不动的磁体,以慢速转动。其优点是利用率高(70%以上),缺点是造价高。


产品名称:钛管靶(钛旋转靶材

材质:纯钛

纯度:≥99.5%

晶粒度:≤100um

生产工艺:锻造、CNC加工

用途:太阳能电池,建筑玻璃,汽车玻璃,半导体,平板电视等。

产品规格:

外径-157/内径-133×3191mm;

外径-157/内径-133×3855mm.

外径-180/内径-160×1800mm

也可以根据客户的具体要求定做加工。


真空镀膜靶材利用率:

靶材形状

靶材利用率

平面靶材

33%-40%

旋转靶材

70%-80%

多弧靶材

65%-75%

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